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FAQ 1009032 : ESD (Electro Static Discharge)

静電気放電のことです。
半導体デバイスの静電気放電による破壊の要因としては次の4つのモデルが提唱されています。

(1) 人体モデル
人体に帯電した電荷がデバイスに触れた時に放電を起こし発生する破壊モデル
(2) マシンモデル
人体より大容量を有し、放電抵抗が小さい金属製機器とデバイスが接触した時に発生する破壊モデル
(3) デバイス帯電モデル
デバイスのパッケージまたはリードフレームが摩擦などにより帯電し、この電荷がデバイスの端子を通して放電され発生する破壊モデル
(4) 電界誘導モデル
MOS構造を有するデバイスが高電界中にさらされた時に酸化膜破壊を起こすモデル

詳細は 半導体 品質/信頼性ハンドブック を参照してください。

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